반도체 공정 장비 전문기업 원익IPS의 주력 증착장비 제품군인 ‘GEMINI(제미니)’가 누적 출하량 800대 진입을 눈앞에 두며 국내외 반도체 제조 현장으로 공급을 확대하고 있다.
원익IPS는 지난 29일 반도체 제조 공정용 핵심 박막 형성 장비인 GEMINI의 누적 출하량이 800대에 근접했다고 밝혔다. GEMINI는 반도체 제조 공정 중 웨이퍼 표면에 절연막과 전도막 등 기능성 박막을 형성하는 핵심 증착 설비다.
원익IPS는 2015년 GEMINI 개발을 위한 전담 태스크포스(TF)를 신설하고 설비 개발에 착수했으며,원익IPS반도체주력증착장비GEMINI누적출하대육박 2016년 ‘GEMINI HQ’ 양산 1호기를 출하하며 상용 공급을 개시했다. 이후 공정 신뢰성과 양산성을 인정받아 2018년 누적 출하 100대를 달성했고, 2023년 500대를 넘어선 데 이어 최근 800대에 육박하는 출하 실적을 기록했다.
GEMINI의 공급 확대는 반도체 미세화와 구조 복잡화에 대응한 공정 기술 개선이 뒷받침했다. 반도체 회로 선폭이 좁아지고 3차원 적층 구조가 도입되면서 박막의 두께와 균일성을 나노 단위로 제어하는 정밀 증착 기술의 중요성이 높아졌으며, 원익IPS는 이에 대응한 장비 성능 개선을 지속해 공급 라인을 넓혀왔다.
국내 라인에서 검증된 양산 레퍼런스를 기반으로 해외 시장 공급망도 넓히고 있다. 원익IPS는 2024년부터 글로벌 반도체 제조사를 대상으로 GEMINI 공급을 본격적으로 확대했으며, 현재 주요 해외 생산 거점 전반으로 납품처를 다변화하고 있다. 회사는 축적된 공정 대응 노하우를 바탕으로 글로벌 고객사의 세부 기술 사양에 대응해 시장 지배력을 높여갈 계획이다.
원익IPS 관계자는 “지난 10년간 GEMINI가 거둔 성과는 국내 반도체 장비 기술 초격차의 역사와 궤를 같이한다”라며 “축적된 기술력을 바탕으로 글로벌 고객사에게 차별화된 가치를 공급하며 해외 시장 영토를 확장해 나갈 것”이라고 전했다.
한편, 원익IPS는 1998년 원자층증착(ALD) 장비 양산에 성공한 데 이어 2004년 화학기상증착(CVD) 장비를 순차 개발하며 반도체 전공정 장비 국산화를 주도한 기업이다. 2016년 인적분할을 통해 신설 상장된 이후 반도체 장비 외에도 디스플레이 증착기 분야로 사업 영역을 넓히며 다각화된 포트폴리오를 구축하고 있다.
기계신문, 기계산업 뉴스채널
한음표 기자[email protected]